クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
もしクラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、エアフィルターだけでは不十分だということはご存知でしょう。本当の問題は、熱源です。
一般的な加熱要素は、高純度の環境では大敵です。それらはオゾンを発生させてしまいます。医療用のポリマーや高純度のウェーハを扱っている場合、これは大変な問題です。一度でも不良品が出れば、大きな損失につながります。
私たちは、オゾンを発生させない合成石英製の赤外線ランプを使用しています。このランプは、空気を汚染する心配なく、材料を加熱することができます。
オゾンの問題点
問題は、ほとんどの短波長の赤外線ランプがUV光を放出することです。このUV光が酸素と反応するとオゾン（O3）が生成されます。密閉されたクリーンルームでは、このオゾンの蓄積は致命的です。
私たちは、特定のUV波長を遮断する石英製のケースを使用してこの問題を解決しています。必要な熱エネルギーは得られますが、環境を悪化させる化学反応は起きません。
内部構造
チューブには高純度の融成シリカを使用しています。これは非常に耐久性が高く、熱ショックにも耐えられます。そして何よりも、加熱や冷却時に微細な粒子が飛び散ることはありません。
また、フィラメントが正確に中心に位置しているかも徹底して確認します。そうすれば、チューブ全体に均一な熱が届き、hot spotが生じることはありません。
さらに、組み立てにもこだわっています。私たちのランプには、有機系の接着剤や安価なコーティングは一切使用されていません。そうしたものは、数時間の使用で溶けてしまい、汚れを残します。代わりに、ガラス表面に何も残らないように丁寧に処理されています。
注意すべき点
これらのランプは高速で効率的ですが、石英には特有の問題点があります。具体的には、高温になると石英が膨張します。もしチューブを固定具にしっかり固定しすぎると、温度が上がった瞬間にチューブが割れてしまいます。これは仕事の最中に困った状況を引き起こします。
**スプリング式の固定具を使用しましょう。**ガラスに十分な余裕を与えることが重要です。
もし電源がフィラメントのワット数や電圧に適合していれば、これらのランプは現在使っている赤外線ランプの簡単な交換品として利用できます。交換するだけで、すぐに作業を再開できます。