ファブの現場では、フォトレジストのソフトベイクやハードベイクの際に1℃の温度変動が生じると、重要な寸法がナノメートル単位で変わってしまいます。これだけでも多大なロスにつながります。そこで私たちは、ウェーハを加熱するためのランプ用の反射器を開発し、このような不確実性を排除しました。 内部で重要なのは...

製造現場では、アンダーフィルの硬化処理はバッチ処理ではありません。それは、正確に管理しなければならない熱的条件です。わずかに誤差があっただけで、CTEの不整合が生じ、気泡が発生し、最終的にはそのパッケージは廃棄されてしまいます。私たちが開発したIR硬化プラットフォームは、まさにこのような状況に対応...