ウェーハ加熱用チューブを安全に保つために（そして、装置自体も壊れないようにするために） ウェーハの処理を行う際には、熱が必要です。しかも、正確な温度が求められます。しかし問題は、その熱を得るために必要な高電圧によって、電気的な漏れが起こるリスクがあるということです。 わずかな絶縁不良だけで、コント...

なぜ赤外線ヒーターが頻繁に故障するのか（そして、実際にそれを修復する方法） 赤外線ヒーターが故障する原因について、ちょっとした秘密があります。通常、問題は発熱体そのものではありません。ほとんどの場合、問題は配線部分にあります。 例えば、ヒーターを限界まで使うと、その熱はクォーツ管の中だけに留まるわ...