クラス100のクリーンルームで作業を行う際には、まったくのミスの余地がありません。わずかな微粒子やガスの漏れだけでも、すべてを台無しにしてしまいます。洗浄処理を行ったり、基材を乾燥させたりする際には、通常の加熱要素では不十分です。このような環境では、それらの加熱要素は「汚れすぎて」使えないのです。
そのため、私たちは赤外線ランプに高純度の合成石英を使用しています。
ほとんどの石英管には微量の不純物が含まれています。高温になると、その不純物が蒸発して製品上に付着してしまいます。これは望ましくありません。高純度の石英を使用することで、このようなリスクを完全に排除できます。
また、密封部分にも十分な注意を払っています。これらのランプは湿気の多い環境で使用されるため、ランプとケースの接続部がしっかりしている必要があります。もし水分が漏れ込むと、短絡が起こってしまいます。ごく簡単なことです。
装置をコンパクトに保つために、より多くのワット数をより短い管に詰め込んでいます。これにより、目標とする温度に迅速に到達できます。これはタイムラインの観点からは有利ですが、取り付け用のブラケットには注意が必要です。石英は高温になると膨張します。もし、十分な隙間がない硬いフレームに当たってしまうと、割れてしまいます。
そして、これらのランプは洗浄工程で使用されるため、防水機能も備えています。そのため、そのエリアを洗浄しても、ランプが壊れる心配はありません。
もう一つ注意点があります。高純度の石英は、通常のガラスよりも少しもろいのです。どうか、素手でランプに触れないでください。皮膚から出る油分がガラス上に熱点を作り、それが原因で管が割れてしまいます。取り付けを始める前に、必ず静電気防止グローブを着用してください。
最後に、これらのランプはクリーンルームの基準を維持するために高温で動作します。冷却ファンが十分に機能しているか確認してください。そうでないと、ケースが過度に熱くなってしまいます。