均一性フォトレジストベークランプ

ファブフロアにおいて、ソフトベイクの温度が0.2℃ずれるだけで、大量のスクラップが発生する可能性がある。フォトレジストのエッジ部での薄化、クリティカル寸法の拡散、リソグラフィの能力が無駄になるのを目撃することになる。このベイクランプは、その温度ドリフトが現れる前に防ぐために設計された。 技術的に重...