UHP ウルトラハイピュリティ ヒータランプ

リソグラフィーのフロアにおける重要なステップ ソフトベイクとハードベイクは単なる熱処理のステップではなく、露光を設定します。ウエハ全体で2°Cのドリフトは、クリティカルディメンションをナノメートル単位でシフトさせ、一つのランプ粒子がダイを破壊する可能性があります。熱は推測ではなく、仕様通りに振る舞...