カーボンナノチューブ製造用ヒーター
CNTを製造するための適切な熱処理の方法
もし炭素ナノチューブを育成しているのであれば、その苦労はご存知でしょう。非常に高い温度が必要であり、その熱がウェハーの表面に正確に届くことが求められます。もしそのエネルギーがチャンバーの壁に漏れてしまったら、それは時間やお金の無駄遣いに他なりません。
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カーボンファイバー赤外線ランプ製造工場
なぜ、従来の対流式オーブンを捨ててカーボンファイバー式赤外線ランプを採用するのか? 半導体製造工場で働いたことがある人なら、従来の対流式オーブンの問題点を知っているはずです。それらは遅くて、大きすぎる上、正直、もはや時代遅れのものに思えます。 今では、カーボンファイバー式赤外線ランプへの移行が進ん...
カーボンクリスタルヒーター
電圧の急上昇や急降下は、単に照明がちらつくだけでなく、多くの赤外線ヒーターの寿命を縮めてしまいます。私たちの研究所では、供給電圧が規定値を外れると、通常の赤外線ヒーターの温度が不安定になり、早期に故障してしまうことがあります。そのため、私たちはカーボンクリスタル式赤外線ヒーターに電圧補償機能を搭載...