半導体製造において、熱風の代わりに赤外線を利用しよう まず、熱風を使うことの問題点について話しましょう。それは、速度が遅いということです。ウェーハに熱を伝えるために空気を加熱する必要があるのですが、これはまるで、あまり役に立たない中間者を介在させているようなものです。高度な処理においては、この遅延...

熱の無駄遣いをやめよう：より効率的な乾燥方法 もし近代的な製造ラインを構築するつもりなら、まず最初に古くから使われてきた対流式ヒーターを捨てるべきです。それらは効率が悪く、使い勝手も悪いのです。私が話をするエンジニアたちのほとんどは、高効率な赤外線式システムを採用しています。なぜでしょうか？それは...

リソグラフィー工程においては、ソフトベイク時の0.3℃程度の温度変動でさえ、デバイスの寸法がナノメートル単位で変わってしまうことがあります。高温な表面上の一つの粒子だけでも、チップを壊してしまう可能性があります。ウェーハヒーターは単に熱を発するだけでは不十分で、日々、再現性の高く、均一な加熱性能を...