実際の現場においては、熱管理は単なる提案ではなく、絶対に超えてはならない一線です。フォトレジストの加熱処理に少しでも誤差があれば、CDの均一性が悪化してしまいます。ウェーハの乾燥時に冷却部ができてしまうと、再び端部分に問題が生じます。私たちは、このような状況に対応するために、タッチパネル式の赤外線ランプを開発しました。これにより、必要な場所に安定した熱を供給することができます。
重要なポイント 石英モジュール内に短波長のNIRエミッターを搭載しているため、迅速かつ効果的に熱を供給できます。また、基板を傷つけることもありません。接着領域全体の温度均一性は±0.1℃以内を維持し、バッチごとの再現性も高いです。この装置はクリーンルームでの使用に適しており、クラス1～100の環境で使用可能です。また、粒子が発生することもありません。24時間365日連続稼働にも耐えられ、実際には5,000時間以上の稼働後でも出力の低下は5％未満です。
なぜ私たちの作業に適しているのか ウェーハの乾燥や洗浄時には、過度に加熱することなく水分を素早く除去できます。フォトレジストの処理においては、一貫したソフトベイクおよびハードベイクを実現し、オーバーレイやライン幅を正確に制御できます。パッケージングでは、封止材や接着剤を均一に硬化させることができ、その結果、再作業が減少します。また、チャンバー全体に熱を供給するのではなく、必要な場所だけに熱を当てるため、エネルギーの消費も削減されます。
注意すべき実用上の詳細 設置には専用の電源が必要であり、焦点距離を正確に保つために、きれいで整然とした取り付けが求められます。このランプは、平面で反射性の高い表面で最も効果的に機能します。表面が粗い場合や吸収率が高い場合は、わずかな電力調整が必要です。私たちは、瞬時に接続できるハーネスや、強度や保持時間を数分以内に設定できるキャリブレーション機能も備えています。これにより、再現性の高い処理が可能になります。