金メッキされた赤外線ランプを安全に保つ（そしてウェーハを無損傷のままにする）
半導体製造プラントでは、わずかな電気漏れだけで、大量のウェーハが廃棄されてしまいます。これは誰もが避けたい悪夢です。私たちは、高い熱密度と反射率を得るために金メッキされた赤外線ランプを使用していますが、このようなランプは非常に多くの電力を消費するため、絶縁破壊のリスクが常に存在します。
なぜすべてのランプをテストするのか？
ここでは「サンプル検査」は行いません。それはあまりにもリスクが高いからです。 すべてのランプは、出荷箱に入る前に、耐電圧試験や絶縁抵抗試験を受けます。石英製のケースや電極のシール部分も高電圧でテストされ、漏れ電流が一切ないことを確認します。 なぜでしょうか？石英に微細な亀裂があったり、シール部分に汚れがあったりすると、ランプが故障してしまいます。ヒップオット試験に合格しなければ、そのランプは工場から出荷されません。これが、生産の最中に装置が短絡したり、接地故障が起きたりするのを防ぐ唯一の方法です。
金メッキの素晴らしさ
金メッキは、まるで監督のような役割を果たします。赤外線エネルギーを正確に基板に向けて送り込み、ランプの内部に漏れ出さないようにします。 これにより、より効率的に目的の温度に到達でき、より小さなスペースで多くの熱を得ることができます。
トレードオフの現実
問題は、高強度の金メッキランプは石英を限界まで使い果たすということです。 金メッキは効率性に優れていますが、集中した熱によって電極に大きな負担がかかります。したがって、電源の電圧やワット数がランプの要求に見合っているかを必ず確認する必要があります。 私は、サイクル時間を数秒短縮するために、ランプを過度に動作させようとする人を見たことがあります。そんなことをしないでください。そうすれば、フィラメントが早く劣化してしまいます。 私たちは、クリーンルームの厳しい環境に耐えられるようにこのランプを設計していますが、冷却システムにも注意が必要です。金メッキ層から反射される熱に対応できる十分な強度の冷却システムが必要です。そうでなければ、ソケットが過熱してしまいます。