ウェーハ加工装置用温度センサー

ウェハ処理用ツールでの熱の無駄遣いを止めよう 正直言って、半導体製造装置における電力の無駄遣いは、単なる悪い設計に他なりません。高出力の加熱要素を使用している場合、そのエネルギーの大部分は無駄になってしまいます。そのエネルギーは装置のケース内に漏れ出したり、対象物から反射してしまい、プロセスには全...