無駄な時間の浪費をやめましょう：なぜ赤外線と金製の反射板が効果的なのか
もし今も半導体の処理に熱風を使っているのであれば、実質的には空気に作業を任せていることになります。赤外線ランプと金製の反射板を使用すれば、状況は一変します。対流に頼る必要がなくなり、放射エネルギーを利用できるようになります。
簡単に言えば、生産サイクルでの待ち時間がなくなるのです。
物理的な原理はごくシンプルです。
熱風は遅いです。熱を部品に届けるためには、何らかの媒体を通過しなければなりません。しかし、赤外線ランプはそうした手間を省きます。電磁波を直接対象物に向けて送信するのです。
金でコーティングされた反射板を使用するのは、金が赤外線を効率的に反射するからです。アルミニウムでも問題ありませんが、金の方が優れています。金は熱が機械の内部に漏れ出るのを防ぎ、熱をウェハーや基板上に直接届けます。
なぜ金を使うのか？
安価な反射板ではエネルギーが無駄になります。金メッキの反射板なら、その光束を集中させ、必要な場所に適切な熱量を与えることができます。
起動時間も非常に短いです。本当に速いのです。
大量生産を行っている場合、加熱工程にかかる時間を30秒だけ短縮しても大したことに思えないかもしれません。しかし、1シフト全体で考えると、何時間もの余分な生産時間が得られることになります。
もちろん、魔法のようなものではありません。
注意が必要です。高密度の赤外線熱は非常に強力です。PIDコントローラーやサーミスターの設定を正確に行わないと、温度が上がりすぎてしまいます。また、材料が熱をうまく伝えない場合、中心部分が温まる前に表面が焼けてしまうこともあります。そのため、ランプと部品との距離を調整して、適切な強度を得る必要があります。
設置方法
最も良い点は、そのコンパクトさです。重々しいファンや複雑なダクトは不要です。赤外線システムはコンパクトで、既存のチャンバーにそのまま設置できます。
ただし、電源の準備を忘れないでください。ハロゲンフィラメントは始動時に大きな電流が流れるので、システムがその瞬間の負荷に耐えられるか確認してください。