ウェーハ加熱の安全距離
ウェーハ加熱用チューブを安全に保つために(そして、装置自体も壊れないようにするために) ウェーハの処理を行う際には、熱が必要です。しかも、正確な温度が求められます。しかし問題は、その熱を得るために必要な高電圧によって、電気的な漏れが起こるリスクがあるということです。 わずかな絶縁不良だけで、コント...
省エネ型半導体ヒーター
半導体製造において、熱風の代わりに赤外線を利用しよう
まず、熱風を使うことの問題点について話しましょう。それは、速度が遅いということです。ウェーハに熱を伝えるために空気を加熱する必要があるのですが、これはまるで、あまり役に立たない中間者を介在させているようなものです。高度な処理においては、この遅延...
交換用ヒーター要素 IP65
単なる暖房器具以上のもの
私たちの多くは、シャワーから出た後に体が震えるのを防ぐためのものとして、バスルーム用のヒーターを考えているだけです。しかし実際には、そこにはかなりすごい機能が隠されています。
これらを単なるヒーターとして見るのではなく、水分と戦うための道具として捉えるべきです。短波赤外線...
防水型加熱テーブル IP44
なぜ、古いランプヒーターをIP44等級の赤外線ヒーターに置き換えるのか? 正直に言って、バスルームで使われている古いタイプのランプヒーターは、あまり信頼できない。電源を入れても、ブレーカーが落ちないことを願い、また、水蒸気が配線に入らないように祈るしかない。ほとんどの場合、そういう環境には適してい...