300mmウェーハの場合、洗浄後に残った薄い水膜が歩留まりを低下させてしまいます。残留した水分はフォトレジストの形状を乱し、不均一な乾燥は結果的に粒子の発生を引き起こします。 この問題を解決するために、私たちはゾーン制御式の赤外線パネルを開発しました。これにより、広範囲に熱を照射する代わりに、局所...

実際の現場においては、熱管理は単なる提案ではなく、絶対に超えてはならない一線です。フォトレジストの加熱処理に少しでも誤差があれば、CDの均一性が悪化してしまいます。ウェーハの乾燥時に冷却部ができてしまうと、再び端部分に問題が生じます。私たちは、このような状況に対応するために、タッチパネル式の赤外線...