MEMSセンサーワイヤーの乾燥ヒーター

IRを使ってMEMSウェーハを適切に乾燥させる方法 現代のファブで働く人なら、状況はよく理解しているでしょう。何よりも重要なのはデータとスピードです。しかし、MEMSセンサーのウェーハを乾燥させる際には、従来の対流式の方法ではもはや十分ではありません。そのため、私たちは赤外線（IR）システムを採用...