半導体製造用の装置が過熱するのを防ぎましょう。 IRランプの問題点は、その強力なエネルギーです。しかし、そのエネルギーは意図した方向にだけ行くわけではありません。注意しないと、その熱が装置全体に広がってしまいます。 私も何度もこのような事態を見てきました。設定が適切でないと、装置の内壁が非常に高温...

ファブの現場では、フォトレジストのソフトベイクやハードベイクの際に1℃の温度変動が生じると、重要な寸法がナノメートル単位で変わってしまいます。これだけでも多大なロスにつながります。そこで私たちは、ウェーハを加熱するためのランプ用の反射器を開発し、このような不確実性を排除しました。 内部で重要なのは...