ウェーハ処理における熱の無駄遣いを止めましょう。
シリコンウェーハを加熱する際、1ワットというエネルギーも無駄にできません。しかし問題は、一般的なIRランプでは、エネルギーが本来必要な場所ではなく、他の場所に漏れてしまうことです。
私たちは、金メッキされた反射器を使用することでこれを解決しました。そうすることで、IR光をウェーハ表面に直接当てることができます。
なぜ金なのか？
それは見た目の問題ではありません。金はアルミニウムや研磨済みの鋼鉄よりも、赤外線をはるかに効果的に反射するからです。薄い金層を塗ることで、反射器自身が熱を吸収するのを防ぎます。
その結果、ほとんどのエネルギーがウェーハに戻ります。電圧を最大値に設定しなくても、より高い熱流量を得ることができます。また、熱がチップに伝わるため、装置のフレームの温度も低下します。
高エネルギー密度のデメリット
しかし、これだけのエネルギーを集中させるのは一長一短です。一方で、加熱時間が短縮され、ウェーハ全体の温度が均一になります。
しかし、センサーのフィードバックに大きな負担がかかります。PIDコントローラーがこのような急速な熱伝達に対応していない場合、目標温度を超えてしまいます。これはすぐに起こります。
トレードオフ
正直に言うと、金は高価で扱いにも注意が必要です。最良の熱的性能を得られますが、耐久性には欠けます。腐食性のある化学物質や乱暴な取り扱いによって、金は損傷してしまいます。
反射器を常に清潔に保つ必要があります。指紋やほんの少しのほこりでも、反射率が低下してしまいます。そうなると、ホットスポットが発生し、ウェーハが歪んだり、ドーピングが不均一になったりします。良い結果にはなりません。
私たちは、極めて高い精度が求められる人々のために、このシステムを開発しました。これにより、より均一な熱分布が実現し、電力代も削減できます。ただし、ランプハウジング内に集中した熱に対応できる冷却システムを用意しておく必要があります。