半導体製造において、熱風の代わりに赤外線を利用しよう まず、熱風を使うことの問題点について話しましょう。それは、速度が遅いということです。ウェーハに熱を伝えるために空気を加熱する必要があるのですが、これはまるで、あまり役に立たない中間者を介在させているようなものです。高度な処理においては、この遅延...

ランプの破損によって製品の品質が悪化するのを防ぎましょう 高負荷の半導体製造では、たった一つの不良が全てを台無しにしてしまうことがあります。石英管が破裂すると、単に熱が失われるだけでなく、ガラスの破片や微粒子がウェーハの上に降り注ぎます。これは本当に恐ろしい状況です。 だからこそ、私たちはそのよう...

金メッキされた赤外線ランプを安全に保つ（そしてウェーハを無損傷のままにする） 半導体製造プラントでは、わずかな電気漏れだけで、大量のウェーハが廃棄されてしまいます。これは誰もが避けたい悪夢です。私たちは、高い熱密度と反射率を得るために金メッキされた赤外線ランプを使用していますが、このようなランプは...

製造現場においては、熱管理は単なる提案ではなく、絶対に超えてはならない一線です。拡散処理やフォトレジストの加熱処理中に数度でも温度が変動すれば、ウェーハの寸法精度が崩れてしまいます。その結果、不良品が生じます。炉内のランプこそが、熱管理の成否を決定づける重要な要素です。 内部で何が重要か 私たちは...

製造現場では、アンダーフィルの硬化処理はバッチ処理ではありません。それは、正確に管理しなければならない熱的条件です。わずかに誤差があっただけで、CTEの不整合が生じ、気泡が発生し、最終的にはそのパッケージは廃棄されてしまいます。私たちが開発したIR硬化プラットフォームは、まさにこのような状況に対応...