製造現場では、アンダーフィルの硬化処理はバッチ処理ではありません。それは、正確に管理しなければならない熱的条件です。わずかに誤差があっただけで、CTEの不整合が生じ、気泡が発生し、最終的にはそのパッケージは廃棄されてしまいます。私たちが開発したIR硬化プラットフォームは、まさにこのような状況に対応するためのものです。
技術的に重要な点 このシステムは、基板上で±0.1℃の均一性を維持します。また、領域ごとの精密な制御も可能です。クリーンルームのクラス1～100に適合する設計になっており、低ガス放出型の材料やHEPAフィルターを備えた空気循環システム、そして粒子の発生を0.1/cm³未満に抑える内壁処理も施されています。
NIRエネルギーは厳密なスペクトル制御によって供給されるため、ガラス転移温度を過度に上昇させることなく、迅速かつ完全な硬化が実現されます。フォトレジストの硬化処理においても、設定値の再現性は0.5℃以内に保たれ、重要な寸法の精度が維持されます。
なぜ生産現場で機能するのか この装置は24時間365日稼働しても、計画外の停止時間を最小限に抑えることができます。熱的なサイクルが繰り返されるため、歩留まりが向上し、再作業の必要も減少します。また、消費電力も低下します。低い熱容量と短い処理時間により、無駄なエネルギーの消費が少なくなります。
その結果、予測可能な接着性、制御された歪み、そしてロット間の再調整の必要が少なくなります。
準備が必要なこと このプラットフォームには、専用のクリーンな電源供給と、指定された圧力・温度で安定した冷却水が必要です。熱的安定性は、これら両方に依存しています。既存のラインに組み込むのは簡単ですが、事前にスペースの確保が必要です。空気流路やメンテナンス用のスペースも必須です。
これを単なるヒーターとして扱わず、プロセスインストルメントとして扱えば、毎日±0.1℃という高い精度を維持できます。