ウェーハ加熱の安全距離

ウェーハ加熱用チューブを安全に保つために（そして、装置自体も壊れないようにするために） ウェーハの処理を行う際には、熱が必要です。しかも、正確な温度が求められます。しかし問題は、その熱を得るために必要な高電圧によって、電気的な漏れが起こるリスクがあるということです。 わずかな絶縁不良だけで、コント...