なぜ金メッキされた反射板がウェーハにとって重要なのか スマートセンサーのパッケージングやウェーハ製造を行っている方なら、電力の無駄遣いが単なるコストの問題ではなく、品質上の大きな問題であることをご存知でしょう。一般的な反射板は漏れが多く、過剰なエネルギーが装置の筐体内に漏れ込んでしまいます。これは...

ウェハ処理用ツールでの熱の無駄遣いを止めよう 正直言って、半導体製造装置における電力の無駄遣いは、単なる悪い設計に他なりません。高出力の加熱要素を使用している場合、そのエネルギーの大部分は無駄になってしまいます。そのエネルギーは装置のケース内に漏れ出したり、対象物から反射してしまい、プロセスには全...

ウェーハ処理における熱の無駄遣いを止めましょう。 シリコンウェーハを加熱する際、1ワットというエネルギーも無駄にできません。しかし問題は、一般的なIRランプでは、エネルギーが本来必要な場所ではなく、他の場所に漏れてしまうことです。 私たちは、金メッキされた反射器を使用することでこれを解決しました。...

IRを使ってMEMSウェーハを適切に乾燥させる方法 現代のファブで働く人なら、状況はよく理解しているでしょう。何よりも重要なのはデータとスピードです。しかし、MEMSセンサーのウェーハを乾燥させる際には、従来の対流式の方法ではもはや十分ではありません。そのため、私たちは赤外線（IR）システムを採用...

センサーが高温になる一方で、機器自体を冷却し続ける方法 高価な半導体部品を扱う際には、常に頭を悩ます問題があります。内部の部品を高温にする必要がある一方で、外部のケースが壊れてしまっては困ります。 通常の対流式加熱や、あらゆる方向に熱を当てる方法では、多くのエネルギーが無駄に消費されます。結果とし...