IRを使ってMEMSウェーハを適切に乾燥させる方法
現代のファブで働く人なら、状況はよく理解しているでしょう。何よりも重要なのはデータとスピードです。しかし、MEMSセンサーのウェーハを乾燥させる際には、従来の対流式の方法ではもはや十分ではありません。そのため、私たちは赤外線（IR）システムを採用しています。これにより、繊細な微細構造が壊れることなく、効果的に水分を除去することができます。
IR熱の素晴らしさ
短波長のIRの利点は、部屋の空気を温める時間を無駄にしない点です。代わりに、ウェーハ上の水分子に直接作用します。つまり、迅速かつ効率的です。大量の空気を温める必要がないため、乾燥装置の温度も低く保たれ、短時間で乾燥が進みます。また、エネルギーの無駄遣いも防げます。
「スマート」に乾燥させる
ファブの性能は、扱えるデータの質に依存します。私たちは、PLC回路と直接連携できるような加熱システムを開発しています。センサーが温度を調整するタイミングを知らせてくれるので、温度が過剰に上昇する心配もありません。急激に温度が上昇してウェーハや薄膜が損傷するのは避けたいものです。このようにして、安定した状態を維持できます。
現実的な課題
ただし、高密度のIRアレイは大量の熱を発生させます。もし、適切な空気循環の仕組みがなければ、電子機器が破壊されてしまいます。つまり、高出力のエミッターを使いたい一方で、制御ボードが過熱しないように、効果的な放熱装置が必要です。
なぜ変更するのか？
従来のヒーターは反応が遅いです。反応するのに時間がかかります。一方、IRはほぼ即座に反応します。デジタルコントローラーと連動しているため、温度の調整も容易です。ウェーハの厚さやセンサーの形状が異なっても、設定を調整すれば問題ありません。これにより、従来の乾燥方法が抱えていた問題を解消できます。