ASML リソグラフィランプ予備部品

ファブフロアにおいて、リソグラフィセルは固定された熱予算を持つ。ソフトベイクやハードベイクは調整可能なパラメータではなく、厳格な制約である。ランプ出力が変動すると、フォトレジストのプロファイルがずれ、CDの均一性が損なわれ、欠陥レビュー工程に到達する前に歩留まりが低下し始める。設定値を厳密に保持で...