バイオセンサー製造用赤外線ランプ
マシン自体を加熱するのではなく、センサーを加熱しましょう。
バイオセンサーの製造に携わったことがある人なら、その苦労は理解できるでしょう。基板上の温度を一定に保つ必要がありますが、加熱を始めると、マシン全体が巨大なラジエーターのように機能してしまいます。
ほとんどの赤外線ランプは、全方位に熱を放出...
カーボンナノチューブ製造用ヒーター
CNTを製造するための適切な熱処理の方法
もし炭素ナノチューブを育成しているのであれば、その苦労はご存知でしょう。非常に高い温度が必要であり、その熱がウェハーの表面に正確に届くことが求められます。もしそのエネルギーがチャンバーの壁に漏れてしまったら、それは時間やお金の無駄遣いに他なりません。
だか...
水素センサー製造用ヒーター
センサーが高温になる一方で、機器自体を冷却し続ける方法
高価な半導体部品を扱う際には、常に頭を悩ます問題があります。内部の部品を高温にする必要がある一方で、外部のケースが壊れてしまっては困ります。
通常の対流式加熱や、あらゆる方向に熱を当てる方法では、多くのエネルギーが無駄に消費されます。結果とし...