真空中で適切な加熱を実現するには 半導体を製造する際、最も避けたいのが、不要な粒子がウェーハを損傷させることです。しかし、それでも熱は必要です——しかも大量の熱が必要です。そこで役立つのが、真空環境に対応した赤外線ヒーターです。空気やガスを使って熱を移動させる方法では、真空中ではうまく機能しません...

スマートファブにおける真空チャンバーの適切な加熱方法 現代のファブを構築する際、人々は「インダストリー4.0」という言葉に惑わされがちです。しかし実際には、データと連携することのできる熱制御システムを構築しようとしているのです。 そのため、私たちは真空チャンバーに赤外線システムを使用します。この方...