光学ウェーハ処理用ヒーター

ファブ内では、焼成工程が製品の品質を左右する重要なステップです。ソフトベイクの場合、温度が2℃程度変動すると、ウェーハの寸法もナノメートル単位で変わってしまいます。均一でないハードベイクを行うと、表面に汚れが付着したり、接着不良が発生したりします。光学式ウェーハ加熱装置は、ウェーハ自体をセンサーと...