ウェーハ加熱用チューブを安全に保つために（そして、装置自体も壊れないようにするために） ウェーハの処理を行う際には、熱が必要です。しかも、正確な温度が求められます。しかし問題は、その熱を得るために必要な高電圧によって、電気的な漏れが起こるリスクがあるということです。 わずかな絶縁不良だけで、コントローラーが破壊されたり、一括で製造されたシリコンが台無しになったりしてしまいます。これは本当に最悪の事態です。だからこそ、私たちはリスクを冒しません。私たちが製造するすべてのチューブは、出荷前に必ず高電圧試験や絶縁抵抗試験を受けます。
静電気破壊の現実
これらの加熱チューブでは、帯電した部品と接地されているケースとの間の距離は非常に狭いです。私たちは、アークが発生しないように高電圧のサージに耐えられるように設計しますが、物理学は厳しいものです。石英やセラミックに微細な欠陥や亀裂があれば、電流はそれを通って直接地面に流れてしまいます。 これを防ぐために、実際の使用時よりもはるかに高い電圧をチューブにかけます。つまり、意図的にチューブを破壊しようとするのです。もし潜在的な欠陥があれば、それは工場内で破壊されるべきです。そうすれば、絶縁抵抗が適切な値を保ち、安全リレーが正常に機能し、システムが安定して動作します。
「サンプリング」では不十分な理由
一部の業者は、一括で数本のチューブをテストしただけで終わりにします。しかし、私たちはそうしません。 製造には完璧さはありません。コーティングに何らかの問題があったり、密封部分に少しでも不具合があれば、「不良品」となってしまいます。運が悪ければ、その不良品が顧客の機械に使われてしまいます。100％のチューブをテストすることで、チューブの両端間の電気的な絶縁がしっかりしているかを確認できます。 これにより、ウェーハキャリアに電流が漏れることがなくなります。オペレーターが感電する心配もなく、部分的放電による温度の不安定さもありません。安定して予測可能な熱が得られます。
バランスの取り方
常にトレードオフがあります。より高い熱密度を得たい場合は、安全距離を狭める必要があります。しかし、ヒーターをウェーハに近づけすぎると、絶縁にかかる負荷が増え、電気的なトラブルのリスクも高まります。 もしより小さいサイズが欲しい場合は、筐体が適切に接地されているか、配線がチューブの電圧に適しているかを確認する必要があります。私たちが苦労して作った絶縁層を無駄にしてはいけません。