タッチパネル接着用赤外線ランプ

実際の現場においては、熱管理は単なる提案ではなく、絶対に超えてはならない一線です。フォトレジストの加熱処理に少しでも誤差があれば、CDの均一性が悪化してしまいます。ウェーハの乾燥時に冷却部ができてしまうと、再び端部分に問題が生じます。私たちは、このような状況に対応するために、タッチパネル式の赤外線...