ウェハ処理用ツールでの熱の無駄遣いを止めよう
正直言って、半導体製造装置における電力の無駄遣いは、単なる悪い設計に他なりません。高出力の加熱要素を使用している場合、そのエネルギーの大部分は無駄になってしまいます。そのエネルギーは装置のケース内に漏れ出したり、対象物から反射してしまい、プロセスには全く役立ちません。
私たちは、金コーティングされた反射板を使ってこれを解決しています。聞こえは良いですが、目的は単純です。つまり、赤外線をキャッチして、直接ウェハに当てるのです。
なぜ金なのか？
多くの人々は、通常の石英やセラミック製の反射板を使用しますが、これらでは過剰な熱が装置のケース内に漏れ出してしまいます。私たちは高純度の金の薄層を使用しています。なぜなら、金は赤外線を効果的に反射するからです。
そうすることで、エネルギーが装置のケースに吸収される代わりに、光子が元の場所に戻ります。これにより、電圧を上げたり、システムに負荷をかけたりすることなく、より高い温度のウェハを得ることができます。
重要なのは形状です
純粋な出力自体は素晴らしいですが、それが乱雑な形であれば意味がありません。私たちは金製の反射板の形状を調整し、熱が集中する領域を狭めています。
これにより二つの効果があります。第一に、プロセス温度に到達する時間が大幅に短縮されます。第二に、不均一な熱分布が解消されます。これにより、一連のウェハが破損するという問題もなくなります。全体として、より安定した状態になります。
注意点
しかし、金も完璧ではありません。敏感な材料です。研磨剤を使って洗ったり、傷をつけたりしてはいけません。コーティングが剥がれたり汚染されたりすると、反射率が低下し、処理時間も長くなってしまいます。
正常に機能させるためには、真空状態や不活性ガス環境を厳重に管理する必要があります。大量生産を行っている場合は、定期的に反射板をチェックする習慣を持つべきです。処理中に熱分布が変わってしまう原因を探すよりも、簡単に点検できます。