ファブをきれいに保つために：加熱に関する真実
クラス100のクリーンルームを運営している方なら、エアフィルターだけでは不十分であることはご存知でしょう。本当の問題は、加熱源自体から発生するガスや微粒子です。ここが問題が起こりやすい場所です。
ウェーハに汚染物質が付着しないように、私たちはIRランプとして高純度の合成石英を使用しています。これが最も効果的です。
なぜ石英が重要なのか
一般的なガラスや安価な素材は、高温になるとすぐに不純物を漏らし始めます。一方、高純度の融解シリカは極端な高温でも変質せず、化学的に安定しています。
これらのランプは短波長のIR放射を放出します。最良な点は、熱が直接対象物に届くことです。周囲の空気を温める必要がないため、床のほこりが舞い上がることもありません。
「粒子の雨」を防ぐ
ファブ内のほとんどの加熱素子は、コネクターやコーティングといった小さな部分が原因で故障します。私たちは精密に加工された端子を使用しているため、金属が膨張・収縮する際に金属片が剥がれ落ちることがありません。
また、石英の表面を研磨処理しています。これにより、粒子が隠れやすい表面の凹凸がなくなります。
さらに、設計も極力シンプルにしています。サイズが小さいため、大型のシールドが不要で、コンパクトな加熱エリアに簡単に設置できます。部品が少ないほど、故障の可能性も低くなります。
注意点（必ず読んでください）
もちろん、高純度の石英は清潔ですが、脆いという欠点もあります。
**絶対に裸の手でこのチューブに触れないでください。**本当に。皮脂が熱が集中する原因となり、ランプが早期に破損してしまいます。設置作業を行う人には、無繊維の手袋とイソプロピルアルコールを使って清掃するように伝えてください。
最後に、これらのランプは狭いスペースに多くの熱を集中させます。そのため、冷却ファンの設定が重要です。空気の流れが弱すぎると、熱がランプの外殻を変形させ、寿命を短くしてしまいます。しっかりと冷却させておけば、ランプは長持ちします。