壊れた赤外線ランプによって生産効率が損なわれるのを防ぎましょう。
高負荷の半導体製造環境では、壊れた赤外線ランプは単なる「稼働停止」の問題にとどまりません。それは本当に深刻な問題です。
石英管が破裂すると、単に電球が壊れただけではありません。ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハに直接降り注ぎます。一度破裂すれば、そのロット全体がダメになってしまいます。そして次に来るのが、チャンバー全体を清掃するという大変な作業です。
私たちはより良い方法を考え出しました。ランプをそのまま放置する代わりに、特殊なステンレス製のケースで覆います。
汚れを内部に閉じ込める
このケースは、まるで安全装置のようなものです。高品質のステンレス鋼を使って作られているため、物理的な壁として機能します。もし熱によってチューブが壊れたり割れたりしても、破片はステンレスケースの中に留まり、ウェーハには触れません。
また、精密に加工された開口部を通じて赤外線が漏れ出ますが、実際の破片はそこに留まります。
熱対策
ステンレス鋼は汚れを閉じ込めるのに優れていますが、同時に熱容量も増えます。その点を考慮して、温度上昇のタイミングを決める必要があります。また、高温になっても酸化しない特殊な合金も使用しています。これは、ケース自体が剥がれ落ちたり、有害なガスが放出されないようにするために重要です。
そして、フィット感も重要です。厳密に固定しすぎると、ランプが膨張して硬い辺にぶつかり、割れてしまいます。そこで、適度な余裕を持たせ、ランプが膨張しても割れないようにしています。
妥協点
ただし、ケースを追加すると、フィラメントとウェーハの間の距離が少し広がります。その結果、直接的な熱の影響が少し弱まります。これを解決するためには、ワット数を上げたり、ウェーハをもう少し長く保持したりする必要があります。
しかし、一連のウェーハを失わないためには、これは小さな代償です。必ず、高耐熱性の配線を使用し、冷却ファンの位置も適切に設定してください。ケースの熱が他の部品に影響を与えないようにしなければなりません。