구역별 웨이퍼 건조용 적외선 패널

300mm 웨이퍼 처리 과정에서, 세척 후에도 남아 있는 얇은 물방막은 생산 효율을 크게 저하시킵니다. 잔류 수분은 포토레지스트의 형태를 왜곡시키며, 불균일한 건조는 입자 생성의 원인이 됩니다. 이 문제를 해결하기 위해 우리는 구역별로 제어되는 적외선 패널을 개발했습...