광학 웨이퍼 처리용 히터

생산 현장에서는 베이킹 과정이 제품의 품질을 결정하는 핵심적인 단계입니다. 소프트 베이킹의 경우 온도가 2°C만큼 변동해도, 웨이퍼의 치수가 나노미터 단위로 변할 수 있습니다. 균일하지 않은 하드 베이킹의 경우에는 문제가 더 심각해집니다. 광학식 웨이퍼 가열기는 이러...