UHP (초고순도) 히터 램프

Role 리소그래피 공정에서 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순한 열처리 단계를 넘어서 노광 조건을 결정한다. 웨이퍼 전반에 걸친 2°C 온도 변화는 임계 치수(CD)를 나노미터 단위로 이동시키며, 하나의 램프 입자도 다이를 불량으로 만들 수 있다. 열은 추측이 아니...