적외선 웨이퍼 히터 램프 비용

현장에서는 포토레지스트 소프트 베이크 온도의 작은 편차가 오버레이 마진과 CD 균일성을 미묘하게 저하시킬 수 있다. 적외선 웨이퍼 히터 램프는 이러한 열 예산의 핵심에 위치해 있다. 이 장비의 운영 비용은 단순한 항목이 아니라, 수율과 처리량에 실제적이고 측정 가능한...