반도체 제조 공정에서 열공기 대신 적외선을 사용하는 방법 강제로 공기를 데워서 그 열을 웨이퍼에 전달하는 방식의 문제점에 대해 알아보겠습니다. 이 방식은 매우 느립니다. 공기를 데워서 열을 전달하는 것은 마치 중간에 아무런 역할도 하지 않는 ‘중개자’를 두는 것과 같...

열 낭비를 멈추세요: 더 효율적인 건조 방식 현대적인 생산 시설을 구축하려면, 우선 구식의 대류식 히터들을 버려야 합니다. 그런 히터들은 성능이 느리고 복잡하기만 합니다. 제가 만나는 엔지니어들 대부분은 고효율의 적외선 시스템을 사용하고 있습니다. 왜일까요? 그것은...

리소그래피 공정에서는, 소프트 베이크 과정에서 0.3°C만큼의 온도 변화가 생겨도 치명적인 오차가 발생할 수 있습니다. 뜨거운 표면 위에 있는 단 한 개의 입자만으로도 웨이퍼가 파괴될 수 있습니다. 웨이퍼 히터는 단순히 뜨거워지는 것만으로는 안 되며, 매일 일관되고...