균일성 포토레지스트 베이크 램프

Fab 라인에서 소프트 베이크 시 0.2°C의 온도 편차만으로도 대량 불량이 발생할 수 있다. 포토레지스트가 가장자리에서 얇아지고, 임계 치수가 넓어지며, 리소그래피 생산성이 무의미하게 소모되는 현상을 관찰하게 된다. 이 베이크 램프는 그러한 편차가 발생하기 전에 이...