깨진 적외선 램프로 인해 생산성이 저하되는 것을 막으세요.
고부하가 요구되는 반도체 제조 환경에서 적외선 램프가 파손되면 그건 단순한 가동 중단 문제가 아닙니다. 그건 진정한 재앙입니다.
쿼츠관이 파손되면, 그냥 고장 난 전구 문제가 아니라, 유리 조각들과 할로겐 가스가 웨이퍼 위로 떨어집니다. 한 번만 파손되어도 전체 웨이퍼가 폐기물이 되버립니다. 그 다음에는 챔버를 깨끗이 청소해야 합니다.
우리는 더 나은 방법을 찾아냈습니다. 램프를 그대로 두는 대신, 특수하게 제작된 스테인리스 스틸 하우징으로 램프를 감싸주는 것입니다.
오염 물질을 안에 가두기
이러한 하우징들은 일종의 안전장치 역할을 합니다. 고급 스테인리스 스틸로 만들어져 있어서 물리적인 장벽 역할을 합니다. 만약 램프가 과열로 인해 파손된다 해도, 그 파편들은 스틸 케이스 안에 갇혀 있어서 웨이퍼에 닿지 않습니다.
우리는 정밀하게 가공된 구멍을 사용하여 적외선을 통과시키면서도, 파편들은 그 자리에 그대로 있도록 합니다.
열 관리
스테인리스 스틸은 오염 물질을 가두는 데는 훌륭하지만, 열량도 함께 증가시킵니다. 이 점을 고려하여 가동 시간을 조절해야 합니다.
또한, 고온에서도 산화되지 않는 특수 합금도 사용합니다. 이는 하우징 자체가 부서지거나 유해한 가스가 배출되는 것을 방지하기 위함입니다.
그리고 하우징의 크기도 적절해야 합니다. 너무 타이트하면 램프가 팽창할 때 균열이 생길 수 있습니다. 우리는 약간의 여유 공간을 두어 램프가 팽창하고 수축해도 깨지지 않도록 합니다.
장단점
단점은, 하우징을 추가하면 필라멘트와 웨이퍼 사이의 거리가 조금 멀어진다는 것입니다. 그 결과, 열 전달 효율이 약간 줄어듭니다. 이를 보완하기 위해서는 와트수를 높이거나, 웨이퍼를 좀 더 오랫동안 그곳에 두어야 합니다.
하지만 전체 웨이퍼를 낭비하지 않기 위해서는 이 정도의 희생은 감수해야 합니다.
배선에는 고온에 견딜 수 있는 선을 사용해야 하며, 냉각팬도 적절한 위치에 설치해야 합니다. 하우징으로 인해 전체 챔버의 온도가 상승하는 것을 막아야 합니다.