에너지 효율적인 웨이퍼 가열기

리소그래피 공정에서는, 소프트 베이크 과정에서 0.3°C만큼의 온도 변화가 생겨도 치명적인 오차가 발생할 수 있습니다. 뜨거운 표면 위에 있는 단 한 개의 입자만으로도 웨이퍼가 파괴될 수 있습니다. 웨이퍼 히터는 단순히 뜨거워지는 것만으로는 안 되며, 매일 일관되고...