스마트 센서 패키징 적외선
왜 금 도금된 반사체가 웨이퍼에 있어서 중요한지
스마트 센서 포장이나 웨이퍼 제조 분야에서 일하는 사람이라면, 에너지 낭비가 단순히 비용 문제가 아니라 품질 문제라는 것을 잘 알고 있을 것입니다. 대부분의 일반적인 반사체들은 에너지를 너무 많이 누설시킵니다. 이는 마...
웨이퍼 공정용 온도 센서
웨이퍼 처리 과정에서의 열 손실을 막아보세요.
솔직히 말해서, 반도체 제조 장비에서 에너지가 낭비되는 것은 그 자체로 잘못된 설계입니다. 고출력의 가열 요소를 사용할 때, 그 에너지의 상당 부분이 그냥 사라져버립니다. 그 에너지는 장비의 베젤로 새어나가거나 목표물에서...
웨이퍼용 고정밀 IR 센서
웨이퍼 가공 시 열 낭비를 막으세요.
실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 단 1와트라도 소중합니다. 하지만 문제는 일반적인 적외선 램프들이 에너지를 제대로 전달하지 못한다는 점입니다. 에너지가 실제로 필요한 곳인 웨이퍼 표면이 아니라 주변으로 흩어집니다.
우리는 금으로 코팅...
MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터
IR을 활용한 MEMS 웨이퍼의 효과적인 건조 방법
현대적인 반도체 공장에서는 모든 것이 데이터와 속도에 달려 있습니다. 하지만 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 기존의 대류식 건조 방식으로는 충분하지 않습니다. 그래서 우리는 적외선(IR) 시스템을 사용하고 있습니...
수소 센서 제작용 히터
센서가 고온에 노출될 때도 장비를 시원하게 유지하는 방법
비싼 반도체 장비를 사용할 때 항상 골치 아픈 문제가 있습니다. 내부 부품들은 높은 온도에 도달해야 하지만, 외부 케이스가 손상되는 것은 원치 않습니다.
만약 일반적인 대류 방식이나 모든 방향으로 열을 가하는...