웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

와이퍼 가열관을 안전하게 보호하기 위해서는(그리고 장비도 손상되지 않도록 하기 위해), 적절한 열을 공급해야 합니다. 하지만 문제는, 그러한 열을 얻기 위해 필요한 높은 전압이 전기 누설의 위험을 초래한다는 것입니다. 아주 작은 절연 실패만으로도 컨트롤러가 손상되거나...