에너지 절약형 반도체 히팅

반도체 제조 공정에서 열공기 대신 적외선을 사용하는 방법 강제로 공기를 데워서 그 열을 웨이퍼에 전달하는 방식의 문제점에 대해 알아보겠습니다. 이 방식은 매우 느립니다. 공기를 데워서 열을 전달하는 것은 마치 중간에 아무런 역할도 하지 않는 ‘중개자’를 두는 것과 같...