청소 후의 웨이퍼 건조 램프

제조 공정에서, 세척 직후에 이루어지는 건조 단계는 수율을 보호하는 매우 중요한 과정입니다. 웨이퍼에 남아 있는 수분은 나중에 미세한 결함으로 나타나며, 이는 리소그래피 공정에 악영향을 미칩니다. 선 폭 제어가 어려워지고, 포토레지스트의 부착도 저하됩니다. 우리는 이...