半導体製造用の装置が過熱するのを防ぎましょう。
IRランプの問題点は、その強力なエネルギーです。しかし、そのエネルギーは意図した方向にだけ行くわけではありません。注意しないと、その熱が装置全体に広がってしまいます。
私も何度もこのような事態を見てきました。設定が適切でないと、装置の内壁が非常に高温になり、作業員が火傷を負ったり、装置が完全に停止してしまったりします。これではうまく運用できません。
熱を適切な場所に送る方法
IRランプはエネルギーをあらゆる方向に放出します。狭い空間では、エネルギーの半分が無駄になってしまいます。
そこで、高純度のアルミニウム製の反射板を使用します。そうすることで、不要な熱を特定の方向に向けて送ることができます。これにより、熱が装置の表面に当たるのを防げます。そうしないと、装置全体が巨大なヒートシンクになってしまいます。
適切な材料の選択（とそのデメリット）
重さ、コスト、光の反射性能を考慮すると、アルミニウムが最適です。研磨されたアルミニウム表面は、短波および中波のIR光に対して非常に効果的です。
しかし、デメリットもあります。それは「酸化」です。時間が経つとアルミニウムは光沢を失います。光沢がなくなると、その効果も低下します。腐食性のあるガスや高湿度の環境では、通常の研磨だけでは不十分です。何千時間も効果を保ちたい場合は、硬質アノダイズ処理や金めっき処理が必要です。
些細なことが全てを台無しにする
これらの装置を接続する際、チューブと反射板の間の隙間をしっかりと閉じる必要があります。隙間があると「光の漏れ」が発生します。一見些細な問題に思えますが、これによって内部の配線やパネルに熱が発生し、メンテナンスが困難になります。
私のアドバイスは、ランプを交換するたびに、反射板の位置を必ず確認することです。もし反射板が少しでもずれていると、精密な装置が高価なヒーターに変わってしまいます。