碳纳米管制备用加热器

如何为碳纳米管制造提供合适的温度呢？ 如果你正在尝试培育碳纳米管，那你肯定知道其中的难度。需要极高的温度，而且这种热量必须精确地施加在晶圆表面。如果能量散失到腔室壁上，那无疑就是浪费时间和金钱。 因此，我们使用镀金反射器。虽然听起来很复杂，但目的其实很简单：确保每一瓦特的能量都能准确地作用于晶圆上...