晶圆加工设备用温度传感器

停止在晶圆加工设备中浪费热量 说实话，半导体加工设备中的能量浪费其实是一种糟糕的设计缺陷。当使用高功率加热元件时，大部分能量都会白白流失，要么泄漏到设备外壳中，要么被反射掉，根本无法用于实际的加工过程。 我们通过使用镀金反射器来解决这个问题。这听起来很复杂，但目的很简单：将红外光直接引导到晶圆上。...