均匀光刻胶烘烤灯

在晶圆厂车间，软烘烤温度漂移0.2°C就可能报废大量产品。边缘光刻胶变薄，关键尺寸扩散，光刻产能白白浪费。这款烘烤灯旨在防止这种漂移出现。 技术关键在于，我们围绕晶圆设计烘烤曲线，而非仅针对腔体。该灯在整个晶圆直径范围内保持±0.1°C的热均匀性，响应快速且批次间重复性高。碳纤维加热元件和近红外光...