晶圆加热的安全距离

如何确保晶圆加热管的正常运行（同时保护您的设备） 在处理晶圆时，需要热量，而且这个热量必须精确可控。但问题在于：产生足够热量的高电压很容易导致电气泄漏。哪怕只有微小的绝缘缺陷，都可能让控制器失效，甚至毁掉整批硅片。这无疑是一场噩梦。因此，我们绝不冒险。每根加热管在离开工厂之前，都会经过耐压测试和绝...