分区式晶圆干燥红外面板

在300毫米光刻线路上，清洗后残留的薄层水膜会严重影响生产效率。残留的水分会破坏光阻层的结构，而不均匀的干燥过程则容易引发颗粒问题。 为了解决这个问题，我们设计了分区式红外干燥面板。该面板利用可控的局部热能来干燥晶圆，从而避免对光阻层造成损伤。 该面板由短波红外发射器构成，这些发射器被分布在多个独...