在实际应用中，热预算并非一个可灵活调整的参数——而是一条不可逾越的界限。如果光刻胶烘烤过程中出现任何偏差，晶圆的均匀性就会受到影响；而如果在晶圆干燥过程中出现温度不均的情况，那么就又得重新处理问题了。我们设计的这种触摸屏式红外灯正是为应对这些挑战而设计的，它能够将稳定的热量精确地施加到工艺所需要之处。
关键在于其工作原理
我们采用石英模块来承载短波近红外光源，这样就能实现快速响应，同时不会对基底造成过大压力。焊接区域的温度均匀性可保持在±0.1°C左右，而且不同批次之间的重复性也非常好。该设备适合在洁净室中使用，符合1-100级洁净标准，且不会产生任何颗粒物。它能够24/7持续工作，实际应用中已运行超过5,000小时，输出功率下降幅度还不到5%。
为何它适合我们的工作需求
在晶圆干燥和清洁过程中，该灯能快速去除水分，同时不会使图案过热。在光刻胶处理过程中，它能提供稳定的烘烤条件，从而确保图案的精度。在封装过程中，它能确保密封剂和粘合剂的稳定固化，从而减少返工次数。由于热量是按需施加的，而不是在整个腔室中均匀分布的，因此可以大大节省能源。
需要注意的细节
安装时需要专用的电源供应，同时还需要确保装置的安装位置准确，以保持合适的焦距。该灯在平坦、具有反射性的表面上效果最佳；如果表面有纹理或吸光性很强，就需要适当调整功率。我们提供了快速连接装置以及校准程序，只需几分钟即可设置好强度和持续时间，从而确保重复性，方便进行质量检测。